MKS(MKS Instruments)品牌简介
MKS Instruments(现更名 MKS Inc.,通称 MKS)是美国真空与过程控制解决方案龙头企业,1978年成立于美国马萨诸塞州安德沃(Andover),在纳斯达克上市。公司下设真空解决方案(Vacuum Solutions)、光子解决方案(Photonics Solutions)与材料解决方案(Materials Solutions)三大业务板块,旗下拥有 Baratron、Ophir、Newport、Spectra-Physics、Atotech 等知名产品线与子品牌。
主打产品线包括:Baratron 电容薄膜真空计与各类真空计(冷阴极电离计、皮拉尼计、压阻式)、质量流量控制器与流量计(MFC,含超洁净与金属密封型号)、上游压力控制器与流量比例分配器、真空蝶阀/闸阀/隔离阀与下游节流阀、真空法兰与接头(ISO-KF/ISO-MF/CF/焊接法兰)、残余气体分析仪(RGA)与质谱气体分析仪、远程等离子源与臭氧发生器、加热套与工艺阱、RF/微波电源发生器、精密位移台与激光器、光学元件与薄膜镀膜产品。样例型号 275600-2-GE-P、307502-01B-T1、356006-YD 符合其零配件与流量/真空部件的编号风格。
典型应用行业:半导体与集成电路制造、平板显示与光伏、LED 与微电子封装、真空镀膜与表面处理、实验室与科研、激光加工与计量检测。
选型/询价核对要点:
1. 真空计需确认测量类型(电容薄膜/皮拉尼/冷阴极)、量程(Torr/mbar/Pa)、气路材质与接口(KF/CF/VCR)及输出协议(模拟/DeviceNet/EtherCAT);
2. 质量流量控制器需核对气体种类、满量程流量(SCCM/SLM)、进出口接头与电气接口;
3. 阀门类需确认通径、驱动方式(气动/手动)与阀体密封材质;
4. 部分型号为设备配套件,建议提供设备铭牌与整机型号一并核对,具体规格以原厂资料为准。