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412925

品牌 Veeco
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关于 Veeco

Veeco Instruments Inc.(纳斯达克上市代码:VEECO)是一家美国半导体工艺设备制造商,总部位于美国纽约州Plainview,专注于先进半导体器件制造与封装所需的激光退火、离子束、金属有机化学气相沉积(MOCVD)、单片刻蚀与清洗、光刻等工艺装备。其设备广泛应用于先进制程器件、光子学、数据存储等行业。

品牌主打产品线包括:激光退火系统(激光尖峰退火,面向最先进制程节点);先进封装光刻机(面向先进封装、LED、MEMS、功率器件);离子束系统与离子源(离子束溅射IBS、离子束沉积IBD、离子束刻蚀IBE,以及栅格式直流/射频离子源与End-Hall无栅离子源,SPECTOR®与NEXUS®系列为光学镀膜与数据存储、MEMS领域的成熟量产平台);SiC外延CVD系统(EpiStride™);GaN/AsP MOCVD系统(Lumina®系列,用于3D传感、LiDAR、micro-LED与光通信InP激光器外延);湿法清洗与刻蚀平台(WaferStorm、WaferEtch);MBE分子束外延系统、ALD原子层沉积、PVD物理气相沉积系统,以及晶圆切割与研磨抛光设备。

典型应用行业:半导体先进制程与先进封装、化合物半导体(GaN、SiC、InP)、光通信与AI数据中心光模块、数据存储(硬盘磁头)、LED与显示、功率器件与电动汽车、科研院所。

选型/询价核对要点:
1. 核对具体机型与配置(如SPECTOR、NEXUS、Lumina系列)及适用晶圆尺寸;
2. 离子源类配件需确认离子源类型(栅格DC/RF、End-Hall)与口径规格;
3. 明确工艺用途(沉积/刻蚀/退火/外延)与材料体系;
4. 备件与耗材需与装机机型及序列号匹配。
具体规格以原厂资料/设备铭牌核对为准。

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