PARKER Veriflo 品牌简介
Veriflo 是美国派克汉尼汾(Parker Hannifin)旗下专注超高纯(UHP)气体与液体控制的事业部,隶属仪器仪表产品集团,总部与制造基地位于加利福尼亚州 Richmond(电话区号 510)。该部门为半导体晶圆厂、设备原厂(OEM)与气体输送系统集成商供应 UHP 减压阀、隔膜阀与单向阀已超过三十年,产品在洁净室环境中组装、清洗与双层袋包装,采用 Vericlean 表面处理与 Hastelloy C-22® 等耐蚀合金,主打"无螺纹、无弹簧接触介质"的低颗粒析出设计。
主打产品线:
1. UHP 减压阀:FR-1000/1200/1300/1400 系列(点式供气)、SQ-140 使用点减压阀、QR-4000(高压高流量、强化泄漏保护)、959 联动式膜片高压阀,工作压力覆盖约 300~3500 psig,Cv 最高至 1.30(18R)。
2. UHP 隔膜阀:930 系列(泄漏完整性与耐蚀性突出)、945 系列(无弹簧无螺纹,减少颗粒)、17R/18R 大流量高压阀,以及 BDV 系列"正向回缩"隔膜阀。
3. 单向阀:F9 系列,专利非对称弹簧,低流阻、动作安静。
4. 氟聚合物产品:PR-1、PR-08 PTFE/PFA 减压阀(不耐金属污染的强腐蚀液体、DI 水、研磨液),MV-1 / MV-13 PFA 手动针阀与停阀,Parflare PFA 接头。
5. 集成组件:气棒(gas stick)、VMB/VMP 阀箱、CASY 定制模块阀组、焊接件与歧管,可按图纸设计交付。
典型应用行业:半导体前道与后道(特种气体柜、VMB、CMP 研磨液、湿法清洗)、LED 与光伏、平板显示、高纯化学品与电子特气、医疗与实验室气体、分析仪器、氢能与工业高纯气体。
选型/询价核对要点:
1. 核对介质与浓度:腐蚀性/易燃/毒性气体需确认接液材质(316L VAR、Hastelloy C-22、PTFE/PFA)与密封形式,氯气、氟气等必须选对应钝化等级。
2. 确认进口/出口压力、Cv 或流量、减压方式(减压式/背压式)、是否带泄压(relieving/non-relieving),PR-08 等非泄压型需保证 5 psi 压差。
3. 接口与连接标准(VCR、Welded、Parflare、世伟洛克兼容面)、面板或管路安装方式、表面粗糙度要求(通常 Ra ≤ 0.25 µm 的 EP 电解抛光)。
4. 型号串较长且含多项选项(如 SC423XLSSC6258、54019179 930AOPLPNCSFSMMLSO、ABP1SV23PPOL4),需按原厂选型表逐段拆解确认阀体、连接、压力范围与清洁等级,不能仅凭外形替代。
具体规格以原厂资料/设备铭牌核对为准。